ガラスウィンドウフィルム製造装置

1. マグネトロンスパッタリング装置
現在、マグネトロンスパッタリング成膜装置の世界で最も有名なメーカーは、米国のアリコ社とドイツのライボルト社である。 2 つの装置のプロセス原理は同じですが、それぞれに独自の利点があります。 主な違いは次のとおりです。
(1) ドイツのライボルト社の塗布装置の真空装置はターボ分子ポンプであるのに対し、米国のAGCO社は油拡散ポンプを使用している。 分子ポンプは油拡散ポンプに比べ高精度で真空引き時間が短く、2年に1回の交換で済みますが、油拡散ポンプは半年に1回の油交換と1年に1回の洗浄が必要です。
(2) アメリカの AIKE 社は、ターゲットの利用率を向上させることができる C-MAG 回転ターゲットを発明しました。 平均ターゲット使用率は通常 20-30% ですが、ロータリー ターゲットの使用率は 70-80% まで増加する可能性があります。
(3) ドイツの Leybold 社のスパッタリング チャンバーは 17 のコンパートメントで構成されており、最大 6 つのカソードまで拡張できます。 American AGCO のスパッタリング チャンバーは単一チャンバー (3 つのカソード) で構成されています。 市場の需要が高いときに生産を拡大したい場合は、スパッタリング チャンバーの数を増やすことができ、柔軟性が高まります。
2. 精密コーティング複合装置
現在、様々な機能を持ったコーティングラミネート機が数多く販売されています。 ガラスウィンドウフィルムを製造するコーティング生産ラインの中核となるのが精密コーティング機です。